概述

特性

• EX-QS 有两种测量距离：1.5″ 和 2.2″。EX-Q 有 1.5” 和 2.2” 两种距离
• 在工厂增益设置下检测各种尺寸和边缘几何形状的亮涂层和暗涂层晶圆。
• 对包括杂散反射在内的映射环境的干扰不敏感。
• 操作方便，“即拆即用”的直接接口无需扩增或信号调节，降低了工具的总体拥有成本。
• 非侵入式晶圆映射解决方案，保护宝贵的晶圆免受不必要的破坏。
• 没有可能导致微粒物质污染的活动部件。
• 检测交叉开槽晶圆和超薄晶圆。
• 注意：连接器是选配件，订购时需另外说明。