AXM XM8000 Pro™
XM8000 Pro™系列——重新定义精密三维计量
下一代诺信 XM8000 PRO 系列以坚实的平台和丰富的真实客户经验为基础，满足未来半导体计量需求。
配备了先进的成像链，采用最新的诺信 NT4D，这是一款无风扇双模管，具有高分辨率模式和 ONYX，可实现低噪声 50µm 像素、6.5MP 探测器。
概述
专为最苛刻的先进封装应用而设计， 诺信的 XM8000 PRO 系列 在高性能 3D 计量方面树立了新的标杆。 XM8000 Pro 专为实现 卓越的重复性和准确性而设计，可提供 亚微米级 3D 重建 ，具有无与伦比的成像保真度和吞吐量。
该系统利用增强型光学成像、先进的 3D 算法和高速采集技术，能够对复杂的晶圆和面板结构进行精确、可重复的测量。 高达 45° 的多个投影角度 可全面观察关键互连特征，确保先进的 晶圆级封装 (WLP) 和 面板级封装 (PLP) 工艺的完整性和可靠性。
XM8000 7 Pro 通过对硅通孔 (TSV) 进行高吞吐量计量，扩展了这一功能。 该系统利用先进的 3D 分析技术，能够以亚微米分辨率精确表征 TSV 的形状、深度、填充质量和空隙，从而实现缺陷的早期检测和严格的工艺控制。
XM8000 PRO 系列专为满足下一代半导体制造的精度和生产力要求而打造，使制造商能够以生产速度实现更高的良率、更严格的公差和更优异的器件可靠性。
无与伦比的决议
100nm 缺陷识别技术为 X 射线计量应用开辟了全新的领域。 诺信测试 & Inspection 独有的专利 NT100M X 射线管，亮度是传统 X 射线管的 10 倍，稳定性也更高。 NT100M 采用 LaB6 发射极代替传统的钨丝，而传统的钨丝通常只能实现 350nm 的缺陷识别。
XM8000 PRO 系列带 IC Safe™： 自信检查，而非冒险暴露
随着设备变得越来越复杂，对辐射的敏感性也越来越高，提供防护变得越来越重要。 IC-Safe 技术是诺信测试 & Inspection 独有的技术，可安全地在线检测产品，而不会造成辐射损害。 IC-Safe 滤光片可保护样品免受 X 射线过度照射。 专为您的应用而设计，让您的设备完全无忧。 当采用选择性取样时，IC-Safe 屏蔽完全消除了所有其他不在测试下的器件样品所受到的辐射暴露。
面板级包装
诺信 XM8000-7P Pro 专为面板级封装的 X 射线检测而设计，最大面板尺寸为 510mm x 515mm。 使制造商能够识别隐藏在多层半导体面板级封装内部的最小缺陷。 该 7 轴系统包含一个用于 3D 功能的探测器万向节，这是全自动 X 射线计量精度的巅峰之作。 XM8000-7P Pro 和 EFEM 已升级，可支持尺寸最大为 510mm x 515mm 的晶圆面板。 该系统设计可容忍 6 毫米面板翘曲，重量可达 3 公斤。