AXM XM8000 Pro™
Série XM8000 Pro™ - Redéfinir la métrologie 3D de précision
S'appuyant sur une plateforme solide et une riche expérience client concrète, la nouvelle génération Nordson XM8000 Séries PRO répond aux futurs besoins de la métrologie des semi-conducteurs.
Doté d'une chaîne d'imagerie avancée utilisant le dernier Nordson NT4D, un tube à double mode sans ventilateur avec mode haute résolution et ONYX pour un détecteur de 6,5 MP à faible bruit de 50 µm pixels.
Aperçu
Conçu pour les applications d'emballage avancées les plus exigeantes, le XM8000 de Nordson Séries PRO établit une nouvelle référence en matière de métrologie 3D haute performance. Conçu pour une répétabilité et une précision exceptionnelles, le XM8000 Pro offre une reconstruction 3D au niveau submicronique avec une fidélité d'imagerie inégalée et débit.
Tirant parti de l'imagerie optique améliorée, des algorithmes 3D avancés et de l'acquisition à grande vitesse, le système permet des mesures précises et répétables sur des architectures de plaquettes et de panneaux complexes. Plusieurs angles de projection jusqu'à 45° offrent une visibilité complète des caractéristiques d'interconnexion critiques, assurant l'intégrité et la fiabilité des procédés avancés d' encapsulation au niveau de la plaquette (WLP) et encapsulation au niveau du panneau (PLP) .
Le XM8000 7 Pro étend cette capacité avec une métrologie débit élevée des traversées de silicium (TSV) . Grâce à des techniques d'analyse 3D avancées, le système caractérise avec précision la forme, la profondeur, la qualité de remplissage et les vides des TSV à une résolution submicronique, permettant ainsi une détection précoce des défauts et un contrôle strict du processus.
Conçu pour répondre aux exigences de précision et de productivité de la fabrication de semi-conducteurs de nouvelle génération, le XM8000 Séries PRO permet aux fabricants d'obtenir des rendements plus élevés, des tolérances plus serrées et une fiabilité supérieure des dispositifs, à la vitesse de production.
Résolution imbattable
La détection de défauts de 100 nm ouvre un tout nouveau monde d'applications en métrologie des rayons X. Le tube à rayons X breveté NT100M, unique à Nordson Test & Inspection, est 10 fois plus lumineux et intrinsèquement plus stable que les tubes à rayons X conventionnels. Le NT100M utilise un émetteur LaB6 au lieu du filament de tungstène traditionnel, qui ne permet généralement de détecter les défauts qu'à 350 nm.
XM8000 Séries PRO avec IC Safe™ : Inspectez en toute confiance, sans vous exposer.
À mesure que les appareils deviennent plus complexes et plus sensibles à l'exposition aux radiations, assurer leur protection est plus que jamais primordial. La technologie IC-Safe, exclusive à Nordson Test & Inspection, permet d'inspecter les produits en toute sécurité en ligne sans risque de dommages dus aux radiations. Les filtres IC-Safe protègent les échantillons d'une surexposition aux rayons X. Conçu spécifiquement pour votre application afin de vous offrir une tranquillité d'esprit totale pour vos appareils. Lorsque l'échantillonnage sélectif est utilisé, les blindages IC-Safe éliminent complètement l'exposition aux radiations de tous les autres échantillons de dispositifs qui ne sont pas sous Test.
Emballage au niveau du panneau
Le Nordson XM8000-7P Pro est spécialement conçu pour l'inspection par rayons X des boîtiers au niveau des panneaux avec une taille de panneau maximale de 510 mm x 515 mm. Permettre aux fabricants d'identifier même les plus petits défauts, enfouis à l'intérieur des boîtiers multicouches de semi-conducteurs. Le système à 7 axes comprend un cardan pour détecteur permettant des capacités 3D, ce qui représente le summum de la précision en matière de métrologie aux rayons X entièrement automatisée. Le XM8000-7P Pro et l'EFEM ont été mis à niveau pour prendre en charge les panneaux de plaquettes jusqu'à 510 mm x 515 mm. Le système est conçu pour tolérer une déformation des panneaux de 6 mm et un poids allant jusqu'à 3 kg.