개요

무선 측정으로 장비 기준 충족 속도를 높이십시오.

실시간 장비 진단을 위한 APSR/RQ 및 CyberSpectrum™ 소프트웨어를 사용하여 입자 데이터를 무선으로 수집하고 표시하십시오. 기록된 입자 데이터로 과거와 현재, 그리고 한 도구와 다른 도구를 비교하십시오. APSR/RQ 데이터로 오염원을 신속하게 찾아 시간을 절약하고 세척, 조정 및 수리의 효과를 실시간으로 확인하십시오.

레티클과 유사한 폼 팩터로 장비 정비 주기를 단축하십시오.

도구를 열지 않고 입자를 실시간으로 감지할 수 있으므로 공정 구역을 환경에 노출할 필요가 없습니다. APSR/RQ는 레티클이 이동하는 곳으로 이동하여 입자로 인한 레티클 오염이 발생하는 지점을 찾을 수 있습니다. 입자 위치가 식별되면 도구를 선택적으로 세척할 수 있습니다. 오염된 부분만 열면 되기 때문에 청결한 구역은 청결하게 유지됩니다.

객관적이고 재현 가능한 데이터로 장비 비용을 낮추십시오.

APSR/RQ로 최초 통과 모니터 레티클 성공률을 높이고, 기준 충족 비용을 줄이고, 가용성을 증대하십시오. 장비 고장이 임박하면 미리 경고가 제공되어 예방 정비 계획을 최적화할 수 있습니다. 알려져 있는 청결한 도구로 기준선을 확립한 다음 후보 도구에 APSR/RQ를 통과시키고 모니터 레티클을 위임하십시오.