Présentation

Accélérez la qualification des équipements avec des mesures sans fil.

Collectez et affichez des données sur les particules sans fil à l'aide de l'APSR/RQ et du logiciel CyberSpectrum™ pour effectuer des diagnostics en temps réel de vos équipements. Comparez le passé au présent et un outil à un autre grâce aux données enregistrées sur les particules. Gagnez du temps en localisant rapidement les sources de contamination grâce aux données APSR/RQ et constatez en temps réel les effets des nettoyages, réglages et réparations.

Raccourcissez les cycles de maintenance des équipements grâce à un facteur de forme de type réticule.

Détectez les particules en temps réel sans ouvrir l'outil, et donc sans exposer les zones de processus à l'environnement. L'APSR/RQ va là où vont les réticules pour trouver à quel endroit les réticules sont contaminés par des particules. Une fois le lieu de contamination identifié, les outils peuvent être nettoyés de manière sélective. N'ouvrez que la zone encrassée et préservez la propreté des zones intactes.

Réduisez les dépenses d'équipement en exploitant des données objectives et reproductibles.

Améliorez la réussite de votre réticule de surveillance au premier passage, diminuez vos frais de qualification et augmentez la disponibilité avec l'APSR/RQ. Recevez une alerte précoce en cas de panne imminente de l’équipement et optimisez vos plans de maintenance préventive. Établissez une base de référence à partir d'un outil dont la propreté est connue, puis utilisez APSR/RQ sur un outil candidat avant d'engager les réticules de surveillance.