概述

无线测量速度设备认证。

使用 APSR/RQ 和 CyberSpectrum™ 软件无线收集和出具颗粒数据，实时为设备做诊断。利用所记录的颗粒数据对过去和现在、设备和和设备作比较。借助 APSR/RQ 数据快速定位污染源，并实时查看清洗、调整和修复的效果，从而节省时间。

利用光罩形来缩短设备维护周期。

在不打开设备的情况下实时检测颗粒，’无需将工艺环境暴露于大气。APSR/RQ 可以去到任何光罩去的地方，以寻找光罩受颗粒污染的地方。一旦确定了颗粒的位置，就可以有选择地清洁设备。只打开脏的部分，而保持干净区域干净。

通过客观和可重复的数据，降低设备费用。

提高您第一颗monitor的光罩的成功率，降低您的认证成本，并提升 APSR/RQ 的可用性。接收设备故障预警，优化预防性维护计划。从已知的清洁工具建立基准，在执行monitor光罩前，利用APSR/RQ循环测试候选设备。