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EX-QS Wafer Mapping
La soluzione della mappatura del wafer più accurata è ora disponibile in una confezione più piccola. EX-QS è una versione di EX-Q riconfezionata con una custodia più piccola per essere compatibile con le applicazioni in cui lo spazio è limitato. I sensori di mappatura del wafer di EX-QS offrono lo stesso livello di rilevamento affidabile del wafer e di semplicità di integrazione della soluzione EX-Q.
Panoramica
Caratteristiche
- EX-QS è disponibile in due distanze fisse: 1,5″ e 2,2″. EX-Q è disponibile in 1,5” e 2,2”
- Rileva wafer chiari, scuri e rivestiti con dimensioni e geometrie delle estremità diverse in un'impostazione di fabbrica.
- Insensibile all'interferenza dall'ambiente di mappatura, inclusi i riflessi dispersi.
- L'interfaccia diretta facile da utilizzare e standard non richiede amplificazione o condizionamento del segnale e riduce il total cost of ownership dello strumento.
- La soluzione di mappatura del wafer non intrusiva protegge i preziosi wafer da rotture involontarie.
- Nessuna parte mobile che possa provocare la contaminazione da particolato.
- Rileva wafer con slot incrociati e ultra-sottili.
- Nota: Connector è un'opzione e deve essere specificata durante l'ordine.