Le nostre tecnologie: WaferSense® e ReticleSense®

WaferSense® & ReticleSense®
Wireless Dispositivi di misurazione

Migliora i processi di resa e la produttività

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Migliora i processi di resa e la produttività


Quando hai bisogno dei dispositivi di misurazione più efficienti ed efficaci per i processi di configurazione e manutenzione degli strumenti per semiconduttori, affidati a Nordson Test & Inspection, leader mondiale nel mercato dei dispositivi di misurazione per semiconduttori Wireless per la misurazione del gap delle camere, del livellamento, della formazione per il passaggio dei wafer, delle vibrazioni, delle particelle aerodisperse, dell'umidità relativa e della resistenza.

Le fabbriche di semiconduttori e gli OEM apprezzano l'accuratezza, la precisione e la versatilità del portfolio di strumenti di misurazione WaferSense® e ReticleSense® per consentire miglioramenti nelle rese di produzione e nelle apparecchiature Tempo di funzionamento.


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Comprovato e adottato

  • Le principali fabbriche di semiconduttori a livello mondiale hanno adottato i dispositivi di misurazione CYBE Wireless
  • Adottato come metodo migliore conosciuto (BKM)

Più efficiente & Efficace

  • Viaggia ovunque viaggi un wafer o un reticolo
  • Le calibrazioni possono essere effettuate in processi a camera chiusa.
  • Fornisce dati in tempo reale accurati, affidabili e ripetibili, con un conseguente risparmio di tempo e denaro rispetto ai metodi tradizionali.

Risparmia tempo & spese

  • Migliora la resa e l'utensile Tempo di funzionamento
  • Aumenta Wireless
  • Riduce il fabbisogno di risorse
  • Velocizza l'installazione delle apparecchiature, i processi di manutenzione, la risoluzione dei problemi, la qualificazione e il rilascio in produzione.
  • Accelera l'ottimizzazione, la stabilizzazione e la standardizzazione degli strumenti.
  • Ottimizza i processi di fabbricazione e stabilisce standard ripetibili e verificabili.

WaferSense® e ReticleSense®

Migliora i processi di resa e la produttività

WaferSense® Auto Gapping System2™ (AGS2)

Migliora uniformità e resa con WaferSense AGS2 wireless per configurazioni accurate e ripetibili.

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WaferSense® Auto Multi Sensor™ (AMS)

Velocizza le misurazioni su vibrazione, livellamento e umidità con uno strumento di misurazione completo. Migliora la...

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WaferSense® Auto Vibration and Leveling Sensor™ (AVLS3)

Velocizza le misurazioni relative a vibrazioni e livellamento in tempo reale.

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WaferSense® Auto Teaching System™ (ATS2)

Acquisisci dati offset tridimensionali (x, y e z) per comunicare rapidamente le posizioni di transfer del wafer.

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WaferSense® Airborne Particle Sensor™ (APS3)

Migliora la configurazione dei macchinari e le rese a lungo termine monitorando in modalità wireless le particelle...

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WaferSense® Auto Resistance Sensor™ (ARS)

Misurazione in tempo reale della resistenza dei contatti delle celle del rivestimento.

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WaferSense® Auto Vibration System™ (AVS)

Velocizza il monitoraggio delle accelerazioni e della vibrazione sui tre assi per ridurre particelle e tempi di...

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ReticleSense® Auto Multi Sensor™ (AMSR)

Velocizza le misurazioni su vibrazione, livellamento e umidità con uno strumento di misurazione completo. Migliora la...

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ReticleSense® Auto Teaching System™ (ATSR)

Migliora la configurazione e la resa sul lungo termine dei macchinari acquisendo in modalità wireless dati offset...

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ReticleSense® Airborne Particle Sensor™ (APSR/APSRQ)

Migliora la configurazione dei macchinari e le rese a lungo termine monitorando in modalità wireless le particelle...

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Sistema di centraggio automatico™ (ACS)

Velocità nel raggiungimento di una calibrazione accurata del posizionamento dei wafer, un corretto allineamento e...

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Sistema di spaziatura automatica WaferSense®™ (AGS)


  • Ottieni rapidamente la distanza desiderata, utilizzando le letture della camera alla pressione di processo in formato numerico e grafico, con il software CyberSpectrum™ di facile utilizzo.
  • Ottieni la massima uniformità, sia che tu debba impostare uno spazio perfettamente parallelo o leggermente inclinato. Migliora l'uniformità del processo tra i diversi utensili grazie a regolazioni del gioco oggettive e ripetibili.
  • Goditi la tranquillità eliminando la variabile umana dalla regolazione della tua attrezzatura.
  • Effettua le giuste regolazioni ogni volta.







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Sistema di autoapprendimento WaferSense®™ (ATS2)


  • Auto Teaching System™ (ATS2) Migliora la resa e riduci la contaminazione da particolato grazie alla calibrazione precisa del passaggio di consegne dei wafer.
  • Acquisisci i dati di offset per una calibrazione accurata delle posizioni di trasferimento mentre l'ATS2, simile a un wafer, si sposta attraverso le tue apparecchiature per semiconduttori.
  • Migliora la resa del tuo portata con apparecchiature correttamente calibrate. Ottieni configurazioni ripetibili e riproducibili delle apparecchiature per semiconduttori.
  • Elimina le variazioni tra i tecnici grazie alla calibrazione ATS2, che consente di effettuare controlli di configurazione e manutenzione ripetibili e riproducibili.




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Sistema di centraggio automatico WaferSense® (ACS)


  • "Vedere" all'interno dell'apparecchiatura per acquisire i dati di offset dimensionale (x, y e z) per centrare rapidamente le posizioni di trasferimento del wafer
  • Migliora la resa produttiva e agevola la manutenzione predittiva grazie alla calibrazione accurata del passaggio di consegne dei wafer. Acquisisci i dati di offset per una calibrazione accurata delle posizioni di trasferimento mentre il sistema ACS, simile a un wafer, si sposta attraverso le tue apparecchiature per semiconduttori.
  • Consentire configurazioni ripetibili e riproducibili delle apparecchiature per semiconduttori. Elimina le variazioni tra i tecnici grazie alla calibrazione ACS, che consente controlli di configurazione e manutenzione ripetibili e riproducibili.
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La registrazione del tuo prodotto WaferSense® e/o ReticleSense® ti aiuterà a tenere traccia della data di scadenza della calibrazione, consentendoti così di programmare questo servizio quando ti è più comodo. Vi preghiamo di dedicare qualche istante alla compilazione del modulo di registrazione del prodotto.
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