WaferSense® & ReticleSense®
Appareils de mesure Appareils Mobiles
Améliore les rendements, les processus et la productivité
Améliore les rendements, les processus et la productivité
Lorsque vous avez besoin des appareils de mesure les plus efficaces et performants pour les processus de configuration et de maintenance des outils semi-conducteurs, comptez sur Nordson Test & Inspection, le leader mondial du marché des appareils de mesure semi-conducteurs Appareils Mobiles pour l'écartement des chambres, le nivellement, l'apprentissage du transfert de plaquettes, les vibrations, les particules en suspension dans l'air, l'humidité relative et la mesure de la résistance.
Les fabricants de semi-conducteurs et les équipementiers apprécient la précision, l'exactitude et la polyvalence des solutions de mesure WaferSense® et ReticleSense® pour améliorer les rendements de production et équipement Disponibilité.
Éprouvé et adopté
- Les principaux fabricants de semi-conducteurs au monde ont adopté les appareils de mesure CYBE Appareils Mobiles
- Adoptée comme méthode la plus connue (BKM)
Le plus efficace & Efficace
- Se déplace partout où se déplace une plaquette ou un réticule
- Les étalonnages peuvent être effectués dans des procédés en chambre fermée.
- Fournit des données en temps réel précises, fiables et reproductibles, permettant de gagner du temps et de réduire les coûts par rapport aux méthodes traditionnelles.
Économisez du temps et des dépenses &
- Améliore les rendements et l'outil Disponibilité
- Augmente Appareils Mobiles
- Réduit les besoins en ressources
- Vitesses équipement configuration, processus de maintenance, dépannage, qualification et mise en production.
- Accélère l'optimisation, la stabilisation et la standardisation des outils.
- Rationalise les processus de fabrication. Établit des normes reproductibles et vérifiables.
WaferSense® et ReticleSense®
Améliore les rendements, les processus et la productivité
WaferSense® Auto Gapping System 2™ (AGS2)
Améliorez l’uniformité et le rendement avec les appareils de mesure sans fil WaferSense AGS2 pour des configurations...
En savoir plusWaferSense® Auto Multi Sensor™ (AMS)
Accélérez les mesures de vibration, de nivellement et d'humidité avec un dispositif de mesure tout-en-un. Optimisez les...
En savoir plusWaferSense® Auto Vibration and Leveling Sensor™ (AVLS3)
Accélérez les mesures de vibration et de nivellement en temps réel.
En savoir plusWaferSense® Auto Teaching System™ (ATS2)
Capturez des données de décalage 3D (x, y et z) pour accélérer l'apprentissage des positions de transfert du wafer.
En savoir plusWaferSense® Airborne Particle Sensor™ (APS3)
Optimisez la configuration de l'équipement et les rendements grâce à la surveillance sans fil et en temps réel des...
En savoir plusWaferSense® Auto Resistance Sensor™ (ARS)
Mesure de résistance en temps réel des contacts des cellules de placage.
En savoir plusWaferSense® Auto Vibration System™ (AVS)
Surveillance rapide des vibrations et des accélérations sur 3 axes pour réduire les particules, les temps de...
En savoir plus
ReticleSense® Auto Multi Sensor™ (AMSR)
Accélérez les mesures de vibration, de nivellement et d'humidité avec un dispositif de mesure tout-en-un. Optimisez les...
En savoir plusReticleSense® Auto Teaching System™ (ATSR)
Optimisez la configuration de l'équipement et les rendements à long terme grâce à la capture sans fil des données de...
En savoir plusReticleSense® Airborne Particle Sensor™ (APSR/APSRQ)
Optimisez la configuration des équipements et les rendements à long terme grâce à la surveillance sans fil et en temps...
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Système de centrage automatique™ (ACS)
Rapidité d'obtention d'un étalonnage précis du placement des plaquettes, d'un alignement et d'une configuration...
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Système d'écartement automatique WaferSense® (AGS)
- Obtenez rapidement l'écart exact dont vous avez besoin, en utilisant les lectures de la chambre à la pression du processus sous forme numérique et graphique, avec le logiciel facile à utiliser CyberSpectrum™.
- Obtenez une uniformité optimale, que vous ayez besoin d'un écart parfaitement parallèle ou légèrement incliné. Améliorer l'uniformité du processus d'un outil à l'autre grâce à des ajustements d'écart objectifs et reproductibles.
- Ayez l'esprit tranquille en éliminant le facteur humain du réglage de votre équipement.
- Effectuez les bons ajustements à chaque fois.
Système d'apprentissage automatique WaferSense® (ATS2)
- Système d'apprentissage automatique™ (ATS2) Améliorez les rendements et réduisez la contamination particulaire grâce à un étalonnage précis du transfert de plaquettes.
- Capturez les données de décalage pour un étalonnage précis des positions de transfert lorsque l'ATS2, semblable à une plaquette, se déplace à travers votre semi-conducteur équipement.
- Améliorez le rendement de votre processus de fabrication avec un équipement correctement calibré. Obtenez des configurations de semi-conducteurs équipement répétables et reproductibles.
- L'étalonnage ATS2 permet d'éliminer les variations entre techniciens et d'effectuer des contrôles de configuration et de maintenance répétables et reproductibles.
Système de centrage automatique WaferSense® (ACS)
- Consultez le fichier équipement pour capturer les données de décalage dimensionnel (x, y et z) afin de centrer rapidement les positions de transfert de la plaquette.
- Améliorez les rendements et facilitez la maintenance prédictive grâce à un étalonnage précis lors du transfert des plaquettes. Capturez les données de décalage pour un étalonnage précis des positions de transfert lorsque l'ACS de type plaquette se déplace à travers votre semi-conducteur équipement.
- Réaliser des configurations de semi-conducteurs répétables et reproductibles équipement. Éliminez les variations entre techniciens grâce à l'étalonnage ACS qui permet des contrôles de configuration et de maintenance répétables et reproductibles.
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En savoir plusContactez Nordson Test et inspection
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