我们的技术——WaferSense® 和 ReticleSense®

WaferSense® & ReticleSense®
便携式移动设备测量设备

提高产量、工艺和生产效率

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提高产量、工艺和生产效率


当您需要最高效、最有效的半导体工具设置和维护流程测量设备时,请信赖诺信测试 & Inspection,它是便携式移动设备半导体测量设备的全球市场领导者,提供用于腔室间隙、调平、晶圆交接示教、振动、空气中颗粒、相对湿度和电阻测量的设备。

半导体晶圆厂和原始设备制造商重视 WaferSense® 和 ReticleSense® 测量产品组合的准确性、精确性和多功能性,从而提高晶圆厂的良率和设备性能开机准备时间。


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已验证并被采纳

  • 全球主要半导体晶圆厂已采用 CYBE 便携式移动设备测量设备
  • 被采纳为最佳已知方法(BKM)

最有效率的 & 有效

  • 随晶片或十字线移动
  • 校准可以在封闭腔室条件下进行。
  • 提供准确、可靠且可重复的实时数据,与传统方法相比,可节省时间和成本。

节省时间 & 费用

  • 提高产量和工具开机准备时间
  • 提高吞吐量
  • 减少资源需求
  • 加快设备安装、维护流程、故障排除、验证和投产速度。
  • 提高工具的优化、稳定性和标准化速度。
  • 简化制造流程,建立可重复和可验证的标准

WaferSense® 和 ReticleSense®

提高产量、工艺和生产效率

WaferSense® Auto Gapping System 2™ (AGS2)

无线晶圆传感 WaferSense® AGS2 精准设置,提升均匀性与良率。

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WaferSense® Auto Multi Sensor™ (AMS)

快速测量振动,水平和湿度的一体化测量仪。提升良率。 世界各地的晶圆制造厂和设备制造商都非常重视 WaferSense AMS 的准确性、精密度和多功能性。最高效和有效的水平、振动和湿度无线测量设备。

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WaferSense® Auto Vibration and Leveling Sensor™ (AVLS3)

快速实时振动和水平测量。

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WaferSense® Auto Teaching System™ (ATS2)

采集三维偏移数据(x、y 和 z)以快速提供晶圆传输位置指示。

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WaferSense® Airborne Particle Sensor™ (APS3)

通过实时无线监测空气中的颗粒来改进设备安装和提高长期良率。更薄、更轻、精密准确。

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WaferSense® Auto Resistance Sensor™ (ARS)

电镀槽触点的实时电阻测量。

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WaferSense® Auto Vibration System™ (AVS)

快速监控 3 轴加速度和振动,以减少颗粒、维护时间和循环时间。

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ReticleSense® Auto Multi Sensor™ (AMSR)

利用一体化测量设备加快振动、水平度和湿度测量速度。改善良率。

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ReticleSense® Auto Teaching System™ (ATSR)

通过实时无线捕捉三维偏移数据(x, y 和 z),快速校准光罩的传送位置,以便正确对齐和安装半导体设备,从而改进设备安装速度和长期良率。

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ReticleSense® Airborne Particle Sensor™ (APSR/APSRQ)

通过实时无线监测空气中的颗粒,改善设备设置和长期产量。更薄。更轻。准确精密。

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自动居中系统™ (ACS)

快速实现精确的晶圆放置校准、正确的对准和设置。

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WaferSense® 自动间隙系统™ (AGS)


  • 使用简单易用的 Cyber​​Spectrum™ 软件,以数值和图形形式显示工艺压力下的腔室读数,快速准确地获得所需的间隙。 
  • 无论您需要设置完全平行的间隙还是略微倾斜的间隙,都能实现最佳均匀性。 通过客观、可重复的间隙调整,提高工具间工艺一致性。
  • 消除人为因素对设备调整的影响,让您安心无忧。
  • 不断做出正确的调整。







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WaferSense® 自动示教系统™ (ATS2)


  • 自动教学系统™ (ATS2) 通过精确的晶圆交接校准提高良率并降低颗粒污染。
  • 当晶圆状 ATS2 在半导体设备中移动时,捕获偏移数据以精确校准传输位置。
  • 使用经过正确校准的设备提高便携式移动设备的良率。 实现可重复和可再现的半导体设备设置。
  • ATS2 校准可消除技术人员之间的差异,从而实现可重复和可再现的设置和维护检查。




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WaferSense® 自动定心系统 (ACS)


  • 通过“观察”设备内部来获取尺寸偏移数据(x、y 和 z),从而快速确定晶圆转移位置的中心位置。
  • 通过精确的晶圆交接校准,提高良率并辅助预测性维护。 当晶圆状 ACS 在半导体设备中移动时,捕获偏移数据以精确校准传输位置。
  • 实现可重复、可复现的半导体设备配置。 利用 ACS 校准消除技术人员之间的差异,从而实现可重复且可再现的设置和维护检查。
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注册您的 WaferSense® 和/或 ReticleSense® 产品将帮助您跟踪校准到期日,从而使您可以在方便的时候安排此服务。 请花点时间填写产品注册表。
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