提高产量、工艺和生产效率
当您需要最高效、最有效的半导体工具设置和维护流程测量设备时,请信赖诺信测试 & Inspection,它是便携式移动设备半导体测量设备的全球市场领导者,提供用于腔室间隙、调平、晶圆交接示教、振动、空气中颗粒、相对湿度和电阻测量的设备。
半导体晶圆厂和原始设备制造商重视 WaferSense® 和 ReticleSense® 测量产品组合的准确性、精确性和多功能性,从而提高晶圆厂的良率和设备性能开机准备时间。
已验证并被采纳
- 全球主要半导体晶圆厂已采用 CYBE 便携式移动设备测量设备
- 被采纳为最佳已知方法(BKM)
最有效率的 & 有效
- 随晶片或十字线移动
- 校准可以在封闭腔室条件下进行。
- 提供准确、可靠且可重复的实时数据,与传统方法相比,可节省时间和成本。
节省时间 & 费用
- 提高产量和工具开机准备时间
- 提高吞吐量
- 减少资源需求
- 加快设备安装、维护流程、故障排除、验证和投产速度。
- 提高工具的优化、稳定性和标准化速度。
- 简化制造流程,建立可重复和可验证的标准
WaferSense® 自动间隙系统™ (AGS)
- 使用简单易用的 CyberSpectrum™ 软件,以数值和图形形式显示工艺压力下的腔室读数,快速准确地获得所需的间隙。
- 无论您需要设置完全平行的间隙还是略微倾斜的间隙,都能实现最佳均匀性。 通过客观、可重复的间隙调整,提高工具间工艺一致性。
- 消除人为因素对设备调整的影响,让您安心无忧。
- 不断做出正确的调整。
WaferSense® 自动示教系统™ (ATS2)
- 自动教学系统™ (ATS2) 通过精确的晶圆交接校准提高良率并降低颗粒污染。
- 当晶圆状 ATS2 在半导体设备中移动时,捕获偏移数据以精确校准传输位置。
- 使用经过正确校准的设备提高便携式移动设备的良率。 实现可重复和可再现的半导体设备设置。
- ATS2 校准可消除技术人员之间的差异,从而实现可重复和可再现的设置和维护检查。
WaferSense® 自动定心系统 (ACS)
- 通过“观察”设备内部来获取尺寸偏移数据(x、y 和 z),从而快速确定晶圆转移位置的中心位置。
- 通过精确的晶圆交接校准,提高良率并辅助预测性维护。 当晶圆状 ACS 在半导体设备中移动时,捕获偏移数据以精确校准传输位置。
- 实现可重复、可复现的半导体设备配置。 利用 ACS 校准消除技术人员之间的差异,从而实现可重复且可再现的设置和维护检查。
白色论文和客户案例研究
作为行业领导者,诺信测试 & Inspection 处于研发的最前沿。 阅读有关检测和计量设备最新发展的案例研究和白皮书。
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