개요

특징

• EX-QS는 2가지 고립 거리(1.5″ 및 2.2″)로 제공됩니다. EX-Q는 1.5” 및 2.2”로 제공
• 공장 게인 설정에서 다양한 크기의 밝고, 어둡고, 코팅된 웨이퍼를 감지합니다.
• 산란 반사 등 매핑 환경의 간섭에 민감하지 않습니다.
• 사용하기 쉬운 “기성” 직접 인터페이스로 증폭 또는 신호 조절이 필요하지 않으며 도구 총 소유 비용이 줄어듭니다.
• 비침습적 웨이퍼 매핑 솔루션으로 우발적인 충돌에서 고가의 웨이퍼를 보호합니다.
• 미립자 오염을 유발할 수 있는 움직이는 부품이 없습니다.
• 교차 슬롯형 및 초박 웨이퍼를 감지합니다.
• 참고: 커넥터는 옵션이며 주문 시 지정해야 합니다.