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製品ビデオ ReticleSense® Auto Multi Sensor™ (AMSR)
概要
ワイヤレス測定による装置検証の高速化
振動、レベルと湿度のデータを収集して表示しますレチクルが収納される環境の湿度を測定します。ソフトウエアCyberSpectrumとAMSRでリアルタイムに装置診断を実施リアルタイムにフィードバック調整を行うことにより、装置校正とセットアップの時間を大幅に短縮
レチクルと同じ形状、重さなので装置メンテンスにかかる時間を大幅に短縮
6025準拠の形状なので装置内を搬送させることが可能真空対応なので装置を大気解放する必要がありません。
客観的で再現性のあるデータを使って、装置メンテにかかるコストを削減しプロセスの均一性を向上させます。
客観的な測定手法で今までの複雑な手順をシンプル化し装置調整における個人差を除去します。誰でも、いつでも正しいメンテナンスを行えるようになるので装置の異変に早く気付くことが出来るようになり装置の予防メンテナンスに役立ちます。
特徴
| ワイヤレス、レチクル形状 | 6025準拠の形状と重量 |
| 3軸の加速度センサで振動を測定 | x、y、z |
| 3次元の傾斜を測定 | X軸、Y軸及び垂直測定 |
| ワイヤレス | リアルタイムにデータをパソコンに送付します |