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产品视频 ReticleSense® Auto Multi Sensor™ (AMSR)
概述
通过无线测量加速设备认证。
收集和出具加速度、振动、找平和湿度数据。监测光罩形环境中的湿度。使用配备了 CyberSpectrum™ 软件的自动多传感器，实时为设备做诊断。实时查看调整效果，加快设备对齐和安装。
光罩形尺寸规格缩短设备维护周期。
6 英寸光罩形传感器可传送到任何光罩可以到的位置。使用真空兼容的AMSR可以使工艺环境不暴露在fab环境中。
降低设备维护费用，通过客观和可重复的数据提高流程稳定性。
将人为因素从调整设备的客观测量中剔除，实现一台设备多种应用。一次又一次地做出正确的调整，并对即将发生的设备故障发出预警，优化预防性维护计划。
特性
| 无线、光罩形、充电式 | 型号为 6 英寸光罩形。 |
| 从三个维度报告加速度 | x、y 和 z |
| 从三个维度报告倾斜度 | x、y 和垂直 |
| 无线 | 将数据实时无线传输到您的笔记本电脑或个人电脑。 |
