AXM XM8000 Pro™
Serie XM8000 Pro™: Redefiniendo la metrología 3D de precisión.
Partiendo de una sólida plataforma y una amplia experiencia real con clientes, la nueva generación de la serie Nordson XM8000 Pro satisface las futuras necesidades de metrología de semiconductores.
Equipado con una cadena de imagen avanzada que utiliza el último Nordson NT4D, un tubo de modo dual sin ventilador con modo de alta resolución y ONYX para un detector de píxeles de 50 µm y 6,5 MP de bajo ruido.
Descripción general
Diseñada para las aplicaciones de embalaje avanzado más exigentes, la serie XM8000 Pro de Nordson establece un nuevo referente en metrología 3D de alto rendimiento. Diseñado para una repetibilidad y precisión excepcionales, el XM8000 Pro ofrece una reconstrucción 3D a nivel submicrométrico con una fidelidad de imagen y un rendimiento inigualables.
Gracias a la mejora de las imágenes ópticas, los algoritmos 3D avanzados y la adquisición de alta velocidad, el sistema permite realizar mediciones precisas y repetibles en arquitecturas complejas de obleas y paneles. Múltiples ángulos de proyección de hasta 45° proporcionan una visibilidad completa de las características críticas de interconexión, lo que garantiza la integridad y la fiabilidad de los procesos avanzados de embalaje a nivel de oblea (WLP) y embalaje a nivel de panel (PLP) .
El XM8000 7 Pro amplía esta capacidad con metrología de alto rendimiento de vías pasantes de silicio (TSV). Mediante técnicas avanzadas de análisis 3D, el sistema caracteriza con precisión la forma, la profundidad, la calidad del relleno y la presencia de huecos en los TSV con una resolución submicrométrica, lo que permite la detección temprana de defectos y un control estricto del proceso.
Diseñada para cumplir con los requisitos de precisión y productividad de la fabricación de semiconductores de próxima generación, la serie XM8000 Pro permite a los fabricantes lograr mayores rendimientos, tolerancias más estrictas y una fiabilidad superior de los dispositivos—a velocidad de producción.
Resolución insuperable
La detección de defectos a 100 nm abre un mundo completamente nuevo de aplicaciones en metrología de rayos X. El tubo de rayos X patentado NT100M, exclusivo de Nordson Test & Inspection, es 10 veces más brillante e intrínsecamente más estable que los tubos de rayos X convencionales. El NT100M utiliza un emisor de LaB6 en lugar del filamento de tungsteno tradicional, que normalmente solo logra la detección de defectos a 350 nm.
Serie XM8000 Pro con IC Safe™: Inspeccione con confianza, no con riesgo de exposición.
A medida que los dispositivos se vuelven más complejos y sensibles a la exposición a la radiación, brindar protección es cada vez más primordial. La tecnología IC-Safe, exclusiva de Nordson Test & Inspection, permite inspeccionar los productos de forma segura en línea sin riesgo de daños por radiación. Los filtros IC-Safe protegen las muestras de la sobreexposición a los rayos X. Diseñado específicamente para su aplicación, para brindarle total tranquilidad respecto a sus dispositivos. Cuando se utiliza el muestreo selectivo, los blindajes IC-Safe eliminan por completo la exposición a la radiación de todas las demás muestras de dispositivos que no están siendo analizadas.
Embalaje a nivel de panel
El Nordson XM8000-7P Pro está diseñado específicamente para la inspección por rayos X de paquetes a nivel de panel con un tamaño máximo de panel de 510 mm x 515 mm. Permite a los fabricantes identificar incluso los defectos más pequeños, ocultos dentro de los encapsulados de paneles semiconductores multicapa. El sistema de 7 ejes incluye un cardán detector para capacidades 3D, lo que representa la máxima precisión en metrología de rayos X totalmente automatizada. El XM8000-7P Pro y el EFEM se han actualizado para admitir paneles de obleas de hasta 510 mm x 515 mm. El sistema está diseñado para tolerar una deformación del panel de hasta 6 mm y soporta pesos de hasta 3 kg.