WaferSense® 和 ReticleSense®
全球主要半导体晶圆厂和设备 OEM 厂商已采用诺信便携式移动设备测量设备。 由于当今芯片几何尺寸越来越小,对精度的要求也越来越高,因此一些 OEM 标准要求使用 WaferSense® 和 ReticleSense® 设备,这些设备已被采用为 BKM(最佳已知方法)。
全球主要半导体晶圆厂和设备 OEM 厂商已采用诺信便携式移动设备测量设备。 由于当今芯片几何尺寸越来越小,对精度的要求也越来越高,因此一些 OEM 标准要求使用 WaferSense® 和 ReticleSense® 设备,这些设备已被采用为 BKM(最佳已知方法)。