WaferSense®とReticleSense®
世界中の主要な半導体製造工場や装置メーカーは、Nordsonの携帯デバイス測定装置を採用しています。 いくつかのOEM規格では、WaferSense®およびReticleSense®デバイスの使用が義務付けられており、これらは今日のますます小型化するチップ形状に求められる精度の向上に伴い、BKM(Best Known Method:最もよく知られた方法)として採用されています。
世界中の主要な半導体製造工場や装置メーカーは、Nordsonの携帯デバイス測定装置を採用しています。 いくつかのOEM規格では、WaferSense®およびReticleSense®デバイスの使用が義務付けられており、これらは今日のますます小型化するチップ形状に求められる精度の向上に伴い、BKM(Best Known Method:最もよく知られた方法)として採用されています。