WaferSense® und ReticleSense®
Führende Halbleiterhersteller und Anlagen-OEMs weltweit haben die Messgeräte von Nordson Mobilgeräte übernommen. Mehrere OEM-Standards fordern die Verwendung der WaferSense®- und ReticleSense®-Geräte, die aufgrund der erhöhten Präzisionsanforderungen bei den immer kleineren Chipgeometrien von heute als BKM (Best Known Method) übernommen wurden.