Nordson MARCH FlexTRAK®-SHS大容量プラズマ処理システムは、自動化と 生産の柔軟性 の強化を実現します。

FlexTRAK-SHS米国カリフォルニア州コンコード – 2019年3月28日 -  プラズマ処理技術の世界的リーダーであるNordsonグループ (NASDAQ:NDSN) のNordson MARCHは、FlexTRAK®-SHS自動プラズマ処理システムの導入を発表しました。 プラズマシステムには、9.6リットル（585 in³）の大容量F3-Sプロセスチャンバーが含まれており、より大きなストリップ用に構成したり、サイクルごとにより多くのストリップを処理できるため、半導体およびエレクトロニクス産業 包装.の吐出量と生産性が向上します。

FlexTRAK-SHSシステムの高度な自動化により、リード フレーム、高密度基板、その他のストリップ型電子部品の高スループット処理が可能になります。 このシステムは、ストリップバッファリングとプラズマ処理を同時に処理し、チャンバーの利用率を高めます。 高度なプロセス制御、交換可能な電極構成、プラズマ モードにより、究極のアプリケーション柔軟性が実現します。

FlexTRAK-SHSプラズマ チャンバーは、小型のFlexTRAKプラットフォームと同じアーキテクチャとテクノロジを採用しているため、生産能力の増大に応じてシームレスに移行できます。 表面洗浄、酸化除去、有機汚染除去、表面活性化などのプロセスが可能です。 FlexTRAK-SHSはCEマークが付いており、SEMI S2/S8 (EH&S/Ergonomics) 規格に準拠しています。

プラズマ洗浄の主な用途は次のとおりです。

半導体パッケージ基板およびリードフレームのプレワイヤ ボンディング プラズマ処理
フリップチップパッケージのプレアンダーフィルプラズマ処理 
半導体パッケージ基板およびリードフレームのプレモールドプラズマ処理
半導体パッケージ基板とリードフレームの接着性向上のためのプラズマ処理
リードフレーム上の酸化物の除去/低減。
 

「FlexTRAK-SHSは、Nordson MARCHのTRAK® シリーズの自動プラズマ システムの最新製品であり、コストを削減しながら生産性を向上させ、製品性能 を改善するための新しいプロセスを開発するというお客様の要件を満たすように設計されています」と、Nordson MARCHの製品ライン マネージャーであるDaniel Chir氏は述べています。 「MARCHの特許取得済みプラズマ技術に基づいて構築されたFlexTRAK-SHSは、当社の最も先進的な自動プラズマ システムであり、生産性を新たなレベルに高めると同時に、当社の他のTRAKシリーズ プラズマ システムと同じ比類のない処理均一性とプロセス一貫性を提供します。」

詳細については、Nordson MARCH（[email protected]）までお問い合わせください。