オフセット校正による高速コンフォーマルコーティングの塗布精度向上

オフセット校正は、非接触ディスペンシングやコンフォーマルコーティングと同様に、正確な流体塗布位置決めに極めて重要です。液滴の曲線状の吐出軌道は、液剤がアプリケータ先端を離れた後、垂直落下による吐出運動と、Z方向の力とX-Y移動動作の組み合わせから生じます。(液滴が吐出されたときのアプリケータの直線的経路) アプリケータの移動による運動量は、液滴をXまたはY方向に移動させ、重力からの下向きの力は、液滴を基板方向に移動させます。最終的に、これは液滴が吐出された位置とは異なるX-Y座標で基板に落下することを意味します。

精密ディスペンスにおけるオフセット校正は、正確な位置に流体をディスペンスするタイミングを計算することによって、X-Y座標の変化を補うための十分に確立された手法です。コンフォーマルなコーティングのディスペンスは、同様のアプリケータ運動原理に従います。図1に示すように、アプリケータが速く動くほど、液滴はボードに接触する前にさらに移動します。ノードソンのASYMTEK装置のコンフォーマルコーティングアプリケータは、フィルムコーティングの場合は500~750 mm/秒、スプレーコーティングの場合は50~150 mm/秒で移動できます。このような高速では、オフセット校正は正確な流体塗布位置決めの要件であり、ノードソンのASYMTEK製品のコンフォーマルコーティングのためのオフセット校正は業界でユニークなものです。

アプリケーションコーナー2014-12ニュースレター - 「オフセット校正とコンフォーマルコーティング精度」

図1: アプリケータの移動速度が液体落下位置に影響します。
アプリケータの水平移動速度が速いほど、流体落下位置はさらに移動します(V3 vs. V1)。

オフセット校正ルーチンは、各特定の用途のためにコーティングシステムをカスタマイズします。コーティングプログラムでは、異なるライン速度とディスペンス高さが使用されます。したがって、正確な開始位置と停止位置を維持することが重要です。さらに、摩耗、流体特性、または流体圧力および流量に影響する空気供給による変化がある場合、オフセット校正ルーチンは応答時間の変化を補正します。最終的に、オフセット較正は、特に高速における共形コーティング精度を向上させます。

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