Série MARCH SPHERE™
Traitement de surface plasma à haute uniformité pour les applications d'encapsulation au niveau de la plaquette (WLP) et au niveau du panneau (PLP).
Aperçu
La série SPHERE offre un traitement de surface plasma avancé conçu pour maximiser l'uniformité, la répétabilité et débit dans les applications d'encapsulation au niveau de la plaquette et au niveau du panneau. Construits autour d'une chambre à plasma symétrique à trois axes brevetée, les systèmes SPHERE garantissent un traitement uniforme sur chaque Substrat tout en maintenant un contrôle strict du processus pour une production fiable et répétable.
Au cœur de la série SPHERE se trouve un engagement envers la précision des processus — offrant un traitement plasma uniforme, des temps de cycle courts et une automatisation prête pour la production afin d'améliorer le rendement, de réduire la variabilité et d'améliorer l'adhérence et la fiabilité en aval.
MARS ExoSPHÈRE
Traitement plasma de qualité supérieure pour le conditionnement au niveau des panneaux.
Le système ExoSPHERE est conçu pour le traitement plasma à haut débit destiné aux applications au niveau des panneaux. Son architecture de chambre symétrique assure une activation et un nettoyage uniformes sur de grandes surfaces, permettant une meilleure adhérence et des résultats de sous-remplissage sans vides.
Le système prend en charge divers formats de produits — notamment les panneaux, les plaquettes, les supports, les bandes et les bateaux JEDEC/Auer® — et s'intègre facilement dans des environnements de production automatisés ou autonomes. La gestion du plasma SMARTTune™ garantit une configuration rapide et un fonctionnement stable, minimisant temps d'arrêt tout en maintenant la cohérence du processus.
Idéal pour :
- Traitement au niveau du panel
- Préparation du sous-remplissage
- Amélioration de l'activation de surface et de l'adhérence
- Élimination de la contamination
MARS StratoSPHÈRE
Traitement plasma de qualité supérieure pour l'encapsulation au niveau de la plaquette.
La plateforme StratoSPHERE est optimisée pour les applications au niveau de la plaquette et prend en charge les plaquettes jusqu'à 300 mm (12 pouces). Son confinement du plasma et la symétrie de sa chambre garantissent une uniformité et une répétabilité élevées.
Conçu pour les applications exigeantes, le système présente des configurations modulaires, une gestion avancée des plaquettes et une capacité de changement rapide, permettant un fonctionnement efficace sur divers processus de plaquettes.
Idéal pour :
- Nettoyage au niveau de la plaquette et élimination de la contamination
- Descellement et décapage de la photorésine
- Préparation de surface et amélioration de l'adhérence
- Structuration diélectrique
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