概要

FACTS²は、2つのトレイまたはモジュールを同時に±0.5ミクロンの精度で検査し、複数のスキャンヘッドを使用することにより、従来のツールに比べ2倍から7倍のスループットを実現し、オペレーターの操作を最小限に抑えた高いスループットを提供します。

FACTS²は、JEDECトレイやアウアー・ボート・キャリア内のパーツをインライン・プロセスの一部として自動的に検査するため、マスプロダクション環境に理想的な装置です。さらにFACTS²は、リードフレームストリップ、IGBTパワーモジュール、多層セラミックチップコンデンサ、フリップチップ、その他のコンポーネントも扱うことができます。リニアモーター駆動とカウンターバランスにより振動をほぼゼロにする機構を採用。スキャン中の振動や試料の動きを排除することで、サンプルの非常に狭い層を正確に分離し、ゲーティングして分析することができます。これにより、業界最速の画像取得時間を実現しています。

検査が終了したトレイはドライヤー室に移動し、新たな検査が開始されます。ボイド、ディスボンド、剥離、亀裂など、これまで見えなかったパッケージ内部の欠陥が明確に識別されます。バッチやロットのデータは、画像として、またはスプレッドシートやトレイマップから集計された分析データとしてアクセスすることができます。必要であれば、不良品を自動的に特定するための合格・不合格基準を設定することができます。また、お客様の品質基準に基づき、不良品を様々なカテゴリーに分類することができます。

FACTS²は、業界標準のSonolyticsソフトウェアプラットフォームとSECS-II/GEM E30インターフェースを装備しており、工場環境において機器間通信により電子的にデータを追跡することが可能です。

特徴

- SECS-II / GEM (SEMI E30)およびSMEMAに準拠しています。
- Nordson Test & Inspection社のWaterFallまたはWaterPlumeトランスデューサーを使用した非浸漬型スキャンにより、コンタミネーション、液浸、部品の浮遊による移動のリスクを最小限に抑えることができます。
- 自動データ分析パッケージにより、合格/不合格 基準を事前に定義し、データ画像またはファイル内の不合格部品を自動的に表示します。
- バキュームホールドダウンオプションにより、スキャン中に小さなパーツを所定の位置に安定させ、最高品質の画像を実現します。
- 最大4つの振動エアナイフとオプションのヒーターを備えた独立したドライヤー室により、スキャン後のパーツを迅速かつ効率的に乾燥させることができます。
- 分析装置としても使用できます。
- オプションの独立したセカンドスキャナにより、驚異的なスループットを実現。
- JEDECトレイ、Auer Boat、IGBTモジュールなど、豊富な構成オプション。 以下の表には、さらに多くの機能を追加してください。