MARCH SPHERE™(スフィア)シリーズ
ウェーハレベル（WLP）およびパネルレベル（PLP）パッケージアプリケーション向けの高均一性プラズマ表面処理システム
※ 本製品は Nordson Electronics Solutions の March（マーチ）ブランドの装置であり、日本での販売および技術サポートはノードソン・アドバンスト・テクノロジー株式会社が担当しています。
概要
SPHERE（スフィア）シリーズは、ウェーハレベルおよびパネルレベルのパッケージングアプリケーションにおいて、均一性、再現性、スループットを最大限に高めるよう設計された、高度なプラズマ表面処理を実現します。特許取得済みの3軸対称プラズマチャンバーをベースとするSPHERE（スフィア）システムは、あらゆる基板に対して均一な処理を実現すると同時に、厳格なプロセス制御を維持し、信頼性と再現性の高い生産を実現します。
SPHERE（スフィア）シリーズの核となるのは、プロセス精度への取り組みです。均一なプラズマ処理、サイクルタイムの短縮、生産対応の自動化により、歩留まりの向上、ばらつきの低減、下流プロセスの接着性と信頼性を向上させます。
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ノードソン・アドバンスト・テクノロジー株式会社
（エレクトロニクス・ソリューションズ）
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TEL：0120-537-555
MARCH ExoSPHERE（エクソスフィア）
パネルレベルパッケージング向けの優れたプラズマ処理
ExoSPHERE（エクソスフィア）システムは、パネルレベルアプリケーション向けの高スループットプラズマ処理向けに設計されています。対称型のチャンバー構造により、広い表面にわたって均一な活性化と洗浄を実現し、密着性の向上とボイドフリーのアンダーフィルを実現します。
本システムは、パネル、ウェーハ、キャリア、ストリップ、JEDEC/Auer®ボートなど、多様な製品フォーマットに対応し、自動化またはスタンドアロンの生産環境に容易に統合できます。SMARTTune™プラズマ マネージメントにより、迅速なセットアップと安定した動作が保証され、ダウンタイムを最小限に抑えながらプロセスの一貫性を維持します。
最適な用途:
- パネルレベル処理
- アンダーフィル前処理
- 表面活性化と接着力の向上
- 汚染物質の除去
MARCH StratoSPHERE（ストラトスフィア）
ウェーハレベルパッケージング向けの高性能プラズマ処理
StratoSPHERE（ストラトスフィア）プラットフォームは、ウェーハレベルアプリケーション向けに最適化されており、最大300mm（12インチ）のウェーハをサポートします。プラズマ・コンファインメント技術とチャンバーの対称性により、高い均一性と再現性を実現します。
高スループットを実現するよう設計されたこのシステムは、モジュール構成、高度なウェーハハンドリング、迅速な段取り替え機能を備えており、多様なウェーハプロセスにおいて効率的な運用を実現します。
最適な用途:
- ウェハーレベルの洗浄および汚染物質除去
- フォトレジストのデスカムおよび剥離
- 表面処理および接着性向上
- 誘電体パター二ング
なぜノードソンなのか？
ノードソン・エレクトロニクス・ソリューションズは、お客様の流体ディスペンシングのパートナーとして安心してお選びいただけます。技術革新への取り組み、研究開発への投資、優れたカスタマーサービスにより、一貫したパフォーマンスと信頼性を実現しています。