Serie ESFERA DE MARZO™

Serie ESFERA DE MARZO™

Tratamiento de superficie con plasma de alta uniformidad para aplicaciones de empaquetado a nivel de oblea (WLP) y a nivel de panel (PLP).

Descripción general


La serie SPHERE ofrece un tratamiento de superficie de plasma avanzado diseñado para maximizar la uniformidad, la repetibilidad y el rendimiento en aplicaciones de empaquetado a nivel de oblea y de panel. Construidos alrededor de una cámara de plasma simétrica de tres ejes patentada, los sistemas SPHERE garantizan un tratamiento consistente en cada sustrato mientras mantienen un control estricto del proceso para una producción confiable y repetible.

 

En el núcleo de la serie SPHERE se encuentra el compromiso con la precisión del proceso: brindar un tratamiento de plasma uniforme, tiempos de ciclo cortos y automatización lista para la producción para mejorar el rendimiento, reducir la variabilidad y mejorar la adhesión y la confiabilidad posteriores.

 

Exosfera de marzo

Tratamiento de plasma superior para empaquetado a nivel de panel.


El sistema ExoSPHERE está diseñado para el tratamiento de plasma de alto rendimiento para aplicaciones a nivel de panel. Su arquitectura de cámara simétrica proporciona una activación y limpieza uniformes en grandes superficies, lo que permite una mejor adhesión y resultados de relleno sin espacios vacíos.

 

El sistema se adapta a diversos formatos de productos (incluidos paneles, obleas, transportadores, tiras y naves JEDEC/Auer®) y se integra fácilmente en entornos de producción automatizados o independientes. La gestión de plasma SMARTTune™ garantiza una configuración rápida y un funcionamiento estable, minimizando el tiempo de inactividad y manteniendo la consistencia del proceso.

 

Ideal para:

  • Procesamiento a nivel de panel
  • Preparación para el relleno insuficiente
  • Activación de superficies y mejora de la adhesión
  • Eliminación de la contaminación

MARZO Stratosphere

Tratamiento de plasma superior para empaquetado a nivel de oblea.


La plataforma StratoSPHERE está optimizada para aplicaciones a nivel de oblea y admite obleas de hasta 300 mm (12 pulgadas). Su confinamiento de plasma y la simetría de la cámara proporcionan alta uniformidad y repetibilidad.

 

Diseñado para un alto rendimiento, el sistema presenta configuraciones modulares, manejo avanzado de obleas y capacidad de cambio rápido, lo que permite un funcionamiento eficiente en diversos procesos de obleas.

 

Ideal para:

  • Limpieza a nivel de oblea y eliminación de contaminación
  • Descomposición y decapado de fotorresistencia
  • Preparación de superficies y mejora de la adherencia
  • Patrón dieléctrico
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¿Por qué Nordson?

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