Inline- und laborbasierte Röntgeninspektions- und Messlösung
Nordson Test & Inspection bietet ein umfassendes Angebot an Inline- und laborgestützten Röntgeninspektions- und Metrologielösungen zur Bewertung und Überwachung der Qualität auf Wafer-Ebene.
Prüfen Sie Form, Füllstand und Hohlräume in TSVs durch Silizium-Vias.
Prüfen Sie die Fertigungsqualität, Drahtbonds, Komponentenausrichtung und Löt- und Klebstofflücken bei der MEMS-Fertigung.
Prüfen Sie das Vorhandensein von Bumps, deren Form, Position und Lücken in Wafer-Bumps.
Auffinden von Defekten wie kalten Verbindungen, Kopf im Kissen und Fehlausrichtung in 2,5D- und 3D-Gehäusen auf Waferebene.
Prüfen Sie Form, Füllstand und Hohlräume in TSVs durch Silizium-Vias.
Prüfen Sie die Fertigungsqualität, Drahtbonds, Komponentenausrichtung und Löt- und Klebstofflücken bei der MEMS-Fertigung.
Prüfen Sie das Vorhandensein von Bumps, deren Form, Position und Lücken in Wafer-Bumps.
Auffinden von Defekten wie kalten Verbindungen, Kopf im Kissen und Fehlausrichtung in 2,5D- und 3D-Gehäusen auf Waferebene.
Nordson TEST & INSPECTION AXM-Produkte
XM8000-7P
Der Nordson XM8000-7P wurde speziell für die Röntgeninspektion von Substraten mit einer maximalen Panelgröße von 510 mm x 515 mm entwickelt. Es ermöglicht Herstellern, selbst kleinste Defekte zu identifizieren, die in mehrschichtigen Halbleiter-Panel-Level-Boards verborgen sind. Das 7-Achsen-System verfügt über eine kardanische Aufhängung des Detektors für 3D-Funktionalität, die den höchsten Grad an Genauigkeit in der vollautomatischen Röntgenmetrologie bietet.
XM8000 Series
XM8000-7 Pro
Entwickelt für anspruchsvollste Anwendungen im Bereich der fortschrittlichen Verpackung, Nordson XM8000-7 Pro setzt neue Maßstäbe in der Hochleistungs-3D-Messtechnik. Das XM8000 Pro wurde für außergewöhnliche Wiederholgenauigkeit und Präzision entwickelt und liefert 3D-Rekonstruktionen im Submikrometerbereich mit unübertroffener Bildgenauigkeit und Durchsatzleistung.
XM8000-5
Nordson XM8000-5 ist das schnellste Röntgenmesssystem auf dem Markt, das mit einem Aspire™ XL-Detektor mit großem Sichtfeld (FOV) ausgestattet ist. Es ist für einen hohen Durchsatz und eine hochpräzise Inspektion optimiert, ideal für hochbestückte Halbleiterwafer.
Datasheet