インダストリアルコーティングシステム

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半導体

ノードソンは、半導体用途に適したさまざまな UV 硬化装置をご用意しています。

ノードソンクールウェーブ UV 硬化システムは、半導体製造に理想的なソリューションです。接着工程でも保護コーティング剤の塗布工程でも、当社のシステムは高速で完全に硬化します。これにより、VOC を削減し、投資を早期に回収しながら、処理時間の短縮、スループットの向上、工程の安全性の向上などのメリットを享受することができます。

クールウェーブユニットは、発熱赤外線エネルギーの放出を抑え、より正確な形状の焦点範囲を提供します。さらに、ランプヘッドはモジューラー設計なので、複数のランプを並べて配置することで広い幅の硬化用途に対応できます。他にも以下のメリットがあります。

  • ガスケットを内蔵していないため、操作コストとメンテナンスコスト、ダウンタイムを低減
  • 独自のダイクロイックコーティングガラスリフレクターを使うことで、より低温で処理し、強度と設計の柔軟性を向上
  • 6 インチ幅で、1 インチあたり定格 300 ワットを使用可能
  • MPS-306 電源で動作し、リモート I/O、簡単なオペレーターインターフェイス、電気的ノイズの除去機能を装備
  • 一体型または外付けの冷却ブロワーを使用可能