单阀门滑动操作:一个阀门是固定的,而另一个阀门可以上下滑动。通常来说,固定一端是位置1(左边)。当在SC-300或SC-400涂覆头上连接倾斜装置的时候会采用这种安装形式。
双阀门滑动操作: 第一个滑动装置向上运动,远离基板,同时第二个向基板方向滑动,反之亦然。这种同步的动作可以让使用中的涂覆头在工作区域运动,同时闲置的涂覆头又不会碰触到较高的元器件。
推荐Select Coat SL-940E 和 SL-941E 表面涂覆平台一起使用。
特点和优势
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优化了涂覆过程中基板上空的距离
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可使用2个不同或相同型号的涂覆头
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2个配置可选择:
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易于更换涂覆头