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4300FP

반자동 웨이퍼 범프 시험

Nordson DAGE 4300FP 사용하면 고가의 웨이퍼를 수동으로 핸들링할 필요가 없습니다.  시스템은 접착력 시험기와 웨이퍼 핸들러를 분리하여 청결도를 높이고 반자동 시험을 통해 생산성을 향상시킵니다.

  • Nordson DAGE 특허 기술인 공기 베어링 무마찰 지능형 장착 시스템을 사용한 전단 시험
  • 고객의 타사 로봇 핸들러(SMIF/FOUP) 장비를 통한 완전 자동 웨이퍼 핸들링
  • 웨이퍼 핸들러와 접착력 시험기가 분리된 환경에서 작동하므로 수동 작업이 최소화됨
  • 웨이퍼를 재배치할 필요 없이 100% 조이스틱 조작으로 웨이퍼의 전체 표면에 시험 수두(試驗水頭) 배치
  • 웨이퍼당 2 기준점을 사용하는 반자동 시험 루틴(카메라 시스템 필요 없음) 통해 재배치 없이 웨이퍼 전체 표면의 접착력 시험 가능
  • 460mm x 300mm XY 스테이지와 로봇 호환 . 공압 작동 핀을 통해 로봇 핸들러를 사용한 웨이퍼 교체 가능.
  • 360 장착툴 회전(옵션)
  • 자동 보정 선형성 검사
  • 통계 SPC 함수를 포함한 통합 분석
  • ODBC 호환

Nordson DAGE 4300FP 전체 데이터시트는여기서 확인할 있습니다.