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4300 접착력 시험기

Nordson DAGE 4300 접착력 시험기는 검증된 반자동 4000W 웨이퍼 핸들링 시스템을 보완하며, 300mm 웨이퍼의 핸들링 및 범프 전단 시험에 대한 증가하는 수요를 충족하도록 반도체 파운드리 및 협력업체의 엄격한 기준에 따라 설계되었습니다.

Nordson DAGE 4300 접착력 시험기는 고가의 웨이퍼를 수동으로 핸들링할 필요가 없고 범프 시험의 생산성을 향상시킨다는 점에서 4000W 웨이퍼 핸들링 시스템과 비슷한 이점을 제공합니다4300 접착력 시험기:

  • 고가의 범프 패드형 웨이퍼를 수동으로 핸들링할 필요가 없음
  • 장착툴과 범프 정렬 상태를 작업자가 제어할 필요가 없음
  • 범프 시험 처리량 증가

주요 기능

  • 웨이퍼를 척에 재배치할 필요 없이 조이스틱을 조작하여 시험 수두(試驗水頭) 웨이퍼의 전체 표면에 배치.
  •  웨이퍼를 척에 재배치할 필요 없이 웨이퍼 전체 표면의 접착력을 시험하는 반자동 시험 루틴(카메라 시스템 필요 없음).  웨이퍼당 2개의 기준점 필요.
  • 460mm x 300mm XY 스테이지
  • 웨이퍼 크기 200mm 또는 300mm
  • 이미지 캡처 시스템(옵션)
  • 360 수동 회전
  •  360 장착툴 회전. 자동 시험 시에는 자동, 조이스틱 제어 시에는 수동
  • 웨이퍼 척의 안전 인터록
  • 300mm 웨이퍼 프레임 보호
  • 고객의 로봇 핸들러와 기타 SMIF 장비에 대한 연동 제공