4300 접착력 시험기

Nordson DAGE 4300 접착력 시험기는 고가의 웨이퍼를 수동으로 핸들링할 필요가 없고 범프 시험의 생산성을 향상시킨다는 점에서 4000W 웨이퍼 핸들링 시스템과 비슷한 이점을 제공합니다.  4300 접착력 시험기:

• 고가의 범프 패드형 웨이퍼를 수동으로 핸들링할 필요가 없음
• 장착툴과 범프 간 정렬 상태를 작업자가 제어할 필요가 없음
• 범프 시험 처리량 증가

주요 기능

• 웨이퍼를 척에 재배치할 필요 없이 조이스틱을 조작하여 시험 수두(試驗水頭)를 웨이퍼의 전체 표면에 배치.
•  웨이퍼를 척에 재배치할 필요 없이 웨이퍼 전체 표면의 접착력을 시험하는 반자동 시험 루틴(카메라 시스템 필요 없음).  웨이퍼당 2개의 기준점 필요.
• 460mm x 300mm XY 스테이지
• 웨이퍼 크기 200mm 또는 300mm
• 이미지 캡처 시스템(옵션)
• 360도 수동 척 회전
•  360도 장착툴 회전. 자동 시험 시에는 자동, 조이스틱 제어 시에는 수동
• 웨이퍼 척의 안전 인터록
• 300mm 웨이퍼 프레임 보호
• 고객의 로봇 핸들러와 기타 SMIF 장비에 대한 연동 제공