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4000W 웨이퍼 핸들링 시스템

Nordson DAGE 4000W 시스템을 사용하면 업계 표준 4000 다목적 접착력 시험기와 웨이퍼 핸들링 시스템의 연동이 가능합니다. 이 웨이퍼 핸들링 시스템은 카세트로부터 자동 장착하여 범프 시험(전단 또는 인장)을 수행한 후 6인치 또는 8인치 웨이퍼를 탈착하는 기능을 제공합니다.

Nordson DAGE 4000W 웨이퍼 핸들링 시스템의 주요 이점은 다음과 같습니다.

  • 고가의 범프 패드형 웨이퍼를 수동으로 핸들링할 필요가 없음
  • 장착툴과 범프 정렬 상태를 작업자가 제어할 필요가 없음
  • 범프 시험 처리량 증가

주요 기능

  • 카세트에서 접착력 시험기까지 웨이퍼 반자동 핸들링
  • 반자동 범프 전단 시험
  • 시험을 마친 웨이퍼를 다시 카세트로 반자동 이송
  • 웨이퍼 방향 안전 인터록
  • 웨이퍼 위치와 슬롯 간에 걸쳐 있는 웨이퍼 유무를 확인하는 자동 카세트 검사
  • 자동 범프 전단 루틴(카메라 시스템 필요 없음) 
  • 240mm 조이스틱 제어 정밀 XY 스테이지