PICO™ ジェットバルブシステム

PICO非接触式ジェットバルブは、高速塗布と、優れた吐出精度と、高度なプロセス制御を同時に実現いたします。

加工物の表面に液剤の小滴を高速で吹き付けることで、基板へのZ軸方向の動作を不要としました。また、ディスペンシングニードルが接触できない、届きにくい部分や、凹凸面への塗布も可能です。

また、内蔵ヒーターで液剤の粘度調整を行い、液剤の特性に合わせた最良の吐出性能を実現し、常に安定したドットサイズと形状を維持しています。