微电子机械系统组装

正如其名所述，微型机电系统 ( MEMS ) 是指使用为集成电路开发的生产技术，将大量小型机械元件组装在硅片晶圆上。它们被用于从压力传感器到小型发动机的各种设备。除此之外，使用MEMS 技术也产生了新的元器件类别，利用在 CMOS 器件晶圆顶部植入小反射镜的方式生产光学开关。

由于其尺寸非常小，MEMS 器件在某些应用上渐渐凸显出来，如轮胎气压传感器。手机和助听器都使用 了MEMS 话筒，一方面是因为其尺寸小，另外也是因为大批量生产技术让 MEMS 器件的使用更具有成本效应。